1.校准方法
触针式仪器的示值用一组标准粗糙度样板进行校准.在仪器各取样长度上测量相应标准多刻线样板的Ra值,与标准多刻线样板检定证书上给出的Ra0值比较,得到相应测量条件下的仪器的示值误差.
2.标准样板与被校触针式仪器技术指标
标准多刻线表面粗糙度样板技术指标见表1
6不确定度分析
因为标准的表面粗糙度样板表面轮廓比较规则,因此影响Ra示值的不确定度来源主要有:
(a)标准样板检定误差引入的不确定度分量u1;
(b)由于各种随机因素影响使仪器示值不重复而引人的不确定度分u2;
(c)被校仪器数字显示的量化误差引入的不确定度分量u3.
7标准不确定度分量的评定
(a)标准样板的扩展不确定度为a1等于 Ra0×2%(这里Ra0为标准样板的检定值,下同),服从高斯分布.k1等于3因此,相对标准不确定度为
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(b)由于各种随机因素影响使仪器示值不重复而引入的不确定度分量u2可由下式计算:
(c)数显示值量化误差引入的不确定度影响用最低有效位 作为该示值的变化区
所以在被校仪器上,Ra0等于0.42um的标准样板的示值为0.417um,其扩展不确定度
等于1.6%(k等于2),置信水平约为95%.
10触针式仪器校准结果
触针式仪器校准结果见表5